特殊的多孔纳米材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附, 同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用仅限用于平坦，。使用者通常是机器操作员。 在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。
同时称之为纳米微孔真空吸盘，是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心球体，通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体材料，凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高、易于再生和优良的抗热震性等优点，可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷等，在化工、环保、能源、电子、生物化学等领域展现出独特的应用优势。
真空吸附盘是具有高孔隙率、高强度、高平整度，及吸附能力非常强等特点，广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。主要特点：平面度、平行度好、组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整
真空吸盘要求高孔隙率，超微细孔径的场合，纳米真空吸盘，孔大小在30微米到60微米的范围。微孔结构形状有很多种，都是由无数不同规格的硅酸铝瓷质颗粒集合而成，集合时不同规则地形成了几十微米到0.1微米的自由空隙，经过掺入高温（１5００℃）的溶蚀粘结物，再经烧结而获得强度大、空隙多而小、耐腐蚀、耐高温的微孔陶瓷。经特殊工艺加工出来的微孔材料，采用粗细均匀的颗粒，加工出来的板具有孔径分布均匀，研磨后的表面光滑平整，可替代国外进口材料，是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的专用工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序，广泛应用于半导体、印刷、电子陶瓷等行业的真空吸盘设备。
