| 【关 键 词】 | 硅压阻式压力充油芯体 封装 工艺 改良 创新 |
| 【摘 要】 | 硅压阻式压力充油芯体[1]是一种具有高性能、高灵敏度和高稳定性的敏感元件.后端使用现代集成电路工艺,可方便的制成压力传感器及变送器,广泛运用于石油、化工、航天航空、医疗、汽车、机电设备等行业.硅压阻式压力充油芯体具有高可靠性,是将硅压阻压力敏感元件封装于316L不锈钢外壳中[2],本文即对硅压阻式压力充油芯体封装工艺改良与焊接工艺创新进行了详细的阐述. |
【关键词】硅压阻式压力充油芯体封装工艺改良创新【摘要】硅压阻式压力充油芯体[1]是一种具有高性能、高灵敏度和高稳定性的敏感元件.后端使用现代集成电路工艺,可方便的制成压力传感器及变送器,广泛运用于石油、化工、航天航空、医疗、汽车、机电设备等行业.硅压阻式压力充油芯体具有高可靠性,是将硅压阻压力敏感元件封装于
| 【关 键 词】 | 硅压阻式压力充油芯体 封装 工艺 改良 创新 |
| 【摘 要】 | 硅压阻式压力充油芯体[1]是一种具有高性能、高灵敏度和高稳定性的敏感元件.后端使用现代集成电路工艺,可方便的制成压力传感器及变送器,广泛运用于石油、化工、航天航空、医疗、汽车、机电设备等行业.硅压阻式压力充油芯体具有高可靠性,是将硅压阻压力敏感元件封装于316L不锈钢外壳中[2],本文即对硅压阻式压力充油芯体封装工艺改良与焊接工艺创新进行了详细的阐述. |
