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    带导流体的旋流非接触吸盘仿真及PIV实验验证

    放大字体  缩小字体 发布日期:2021-10-19 14:01:47    浏览次数:193    评论:0
    导读

    PIV(Particle Image Velocimetry)技术是一种流场可视化光学方法,经过十年的发展,该技术已经成为研究流场的基本测试手段。由于旋流非接触搬运器内部流道很小,传统的侵入式测量方法很难对搬运器内部流场进行测量。针对这个问题,该文设计了一套PIV实验测试方法,用PIV技术来获得旋流吸盘内部流场的流动规律,采用三种基本旋涡模型对旋流非接触吸盘进行一维数值建模,并且以三种数学模型为目标函数,应用最小二乘拟合方法对PIV数据进行拟合。通过比较拟合效果,辨识出了能够准确描述吸盘内部流场流动特性的

    引言

    通常为了拾起和搬运一件工件都需要与搬运设备直接接触,这种接触式搬运设备与工件表面就容易造成表面划伤和静电。例如在半导体加工过程中,晶片需要被频繁地装载与卸载,应用接触式搬运就容易导致次品增多[1]。为了避免搬运设备和工件的直接接触,磁、静电、近场和气动等多种非接触式搬运方法被提出,气动悬浮方法运用气流对工件的提升力,具有几乎不产生热量,可以搬运任何材料的工件[2],不需要控制回路而达到稳定状态和易于维护等优点。现有的气动非接触搬运方法包括基于伯努利原理的伯努利悬 浮法和漩涡悬浮法。伯努利悬浮法空气消耗量较大,并导致供应管道中的能量损失[2],旋涡悬浮法的空气消耗量则小得多[3],因此旋涡悬浮法的非接触式搬运方式应用前景较好。

    气动悬浮吸盘是一种采用旋涡悬浮方法的非接触式搬运设备,目前对吸盘研究的重点是研究吸盘的内部旋涡流场。黎鑫[3]对旋流悬浮的机理及稳定悬浮区域进行了探讨,利用微元离心力模型建立了旋流吸盘的工件表面静压力与气隙之间的解析模型,利用该压力分布与工件受力面积的乘积获得了提升力模型,然其只能描述流体的切向速度,而忽略了由于重力引起的轴向速度以及径向速度。另外根据大量实验结果证明,实际的漩涡形成应该分为两个区域,一个是涡旋外缘的有旋运动区,一个是内部涡核的似固体无旋运动区,但该模型无法解释内部涡核似固体无旋运动区的运动规律,因此也就无法正确描述静态旋流悬浮的特性。为此本文采用三种基本旋涡模型对旋流非接触吸盘进行一维数值建模,而后通过对吸盘采用PIV(Particle Image Velocimetry)实验得到吸盘内部流场的速度分布,通过以三种吸盘模型对比三种数学模型为目标函数,应用最小二乘拟合方法对PIV实验数据进行拟合来验证和比较模型的准确性,最后辨识出能够准确描绘吸盘内部流场的一维数学模型,以期为今后吸盘的研究提供理论依据。

    1 吸盘的旋涡悬浮法原理和结构

    气动悬浮吸盘能够在吸盘下表面形成真空。和飓风类似,吸盘的真空是由旋涡的旋转气流引起的,旋涡的产生原理如图1所示。沿与吸盘(Vortex cup)杯面相切的喷嘴(Nozzle)吹入压缩空气,空气沿着杯壁(Circular Cylinder)下行形成负压,使得工件(Workpiece)上下表面形成压差产生对工件的吸附力,而同时压缩空气从吸盘与工件的间隙流出,对工件产生排斥力,避免了工件与吸盘裙板的接触,最后吸附力和排斥力达到动态平衡,气体从喷嘴持续流出,工件就会持续地悬浮在和吸盘距离几百个微米的地方,气流从间隙中持续流向大气,进而形成非接触式吸附。

    图1 吸盘旋涡吸附原理

    本文中采用的吸盘结构参照了文献[4]中提出的非接触旋流吸盘结构,依照实验需要设计了的吸盘的尺寸,吸盘的结构和尺寸如图2和表1所示。

    图2 吸盘结构

    表1 吸盘尺寸 mm

    D1 D2 D3 D4 D5 H1 H2 H3 H4 d 140 90 80 40 30 30 25 5 1.5 2

    如图3所示吸盘结构包括杯体、切向喷嘴、杯体中心位置的导流体和杯体外围的裙板。蓝色箭头表示气体旋转流动方向。

    2 吸盘流场的一维数学建模

    吸盘内部的气体流动明显是涡旋运动[5],涡旋流动主要分为无旋旋涡模型、有旋旋涡模型和复合涡模型。

    无旋旋涡模型:

    式中:Vθ为切向速度(mm/s);r为径向位置(mm);K为常数(mm2/s)。

    有旋旋涡模型:

    复合模型:

    式中:Γ为涡量(s-1);r0为涡核半径(mm)。

    这种复合模型又被称为兰金复合涡(Rankine Vortex Model)[5],兰金涡包括 r≤r0 区域的强制涡和 r≥r0区域的自由势涡,但是兰金涡本质上是一个无粘旋涡模型,并没有真正涉及到粘性,只是巧妙地运用了无粘刚性旋涡也是N-S方程的解这个事实。兰金涡模型在涡核过渡区不是光滑涡核,进一步修正可以得到奥森涡模型(Oseen Vortex):

    式中:Γ0为零时刻的涡量(s-1);v为气体运动粘度系 数(mm2/s)。

    Oseen涡和Rankine涡类似,在任何一时刻,当<<1时有近似解,即 Rankine 涡核区的速度分布,相当于角速度旋转的刚体,而在>>1时,则有,这是无粘势涡的分布规律。可取涡核半径为涡核半径,则 Oseen 涡可以表示成:

    Taylor涡是通过Oseen涡速度模型对时间的微商得到的,其速度模型为:

    式中:M是流体的动量矩(kg·mm/s),等于常数[5]

    图3给出了Vθ/Vmax随着无量纲距离的变化,其中 Vθ/Vmax[5] 为:

    图3 Taylor涡和Oseen涡速度分布比较

    由式(6)可知当,但当涡的速度衰减来的更快。同样令涡核半径涡速度模型可以表示为:

    根据吸盘的结构特点可知,在气膜间隙位置导流体下面的气流流动是由导流体外部的气体流动带动,由于气膜间隙很小(≤2.5 mm),粘性作用主导速度可能会很小或者呈现无规律运动,因此我们将导流体下端的流体运动用一个恒定值来近似模拟,导流体外部的气体流动则可以用上文中的三种模型来模拟,故以Rankine涡模型为例,气膜间隙位置的速度模型可以

    表示为:

    式中:Γ'0、Γ0分别为吸盘左右两侧流体的初始时刻涡量(s-1),为常数;R1为吸盘的半径(mm);r1、r2分别为吸盘左、右侧的涡核半径(mm);b1、b2分别为左侧和右侧吸盘受导流体主导流体和强制涡的分界点(mm),默认为导流体的直径R5;V1为导流体下部流体的流动速度(mm/s)。

    类似Rankine涡模型,基于Oseen涡的气膜位置速度模型也可以表示为:

    同理,基于Taylor涡的气膜位置速度模型可以表示为:

    杯体内部由于存在导流体,故取V1=0且将R1换成R3,即可以得到杯体内部的基于三种旋涡模型的数学模型。以上建立的数学模型只是基于旋涡理论和吸盘基本结构得出的理论模型,他们是否能够适用于实际吸盘的内部流场描述需要进一步的验证。

    3 吸盘的PIV实验

    本文采用了PIV技术来获取吸盘内部流程的速度分布,PIV技术是一种瞬态流场测量技术,它突破了LDV(Laser Doppler Velocimetry)传统单点测量的限制,可瞬时无接触测量流场中一个截面上的二维速度分布。

    为了对旋流吸盘内部流场进行测速,搭建了如图4所示的试验台,整个实验系统包括二部分:供气系统和测量系统。供气系统包括气源、手动阀、减压阀、流量计、粒子发生器和旋流吸盘。测量系统包括PIV系统和数据处理系统。压缩机产生(供气量365 m3/h)压缩气体通过减压阀把进气压力设置在5 kPa供给旋流吸盘。示踪粒子被放置在气罐里,当打开气源示踪粒子随着气流进入到吸盘中去。采用石英砂作为示踪粒子,粒子密度是1.58×103kg/m3;反射率为1.547,直径为10 μm。激光束通过光路和片光源被转化成片光照射进吸盘被测流场中。粒子图像被CCD相机拍摄并且传送给计算机进行分析处理。

    图4 实验系统示意图

    如图5所示,试验中测量了A-O-B切面上的五个位置在0.5 mm、0.8 mm、1.5 mm、2.0 mm 和 2.5 mm五个不同气膜间隙下的流场速度分布,其中杯体中测量了如图5和表2所示的四个位置,而气膜间隙部分测量了气膜间隙中央的一个位置。

    4 三种吸盘模型的验证与比较

    为了验证和比较三种建立的吸盘模型的适用性和准确性。本文先以建立的数学模型为目标函数应用最小二乘拟合方法来拟合PIV实验数据,再通过比较三种模型的拟合精度来衡量三种模型的适用性能。

    图5 轴向不同测量位置

    表2 吸盘杯体内部测量位置

    Z1/H1 Z2/H1 Z3/H1 Z4/H1 0.31 0.47 0.63 0.78

    这里我们用到了MATLAB优化工具箱(Optimizaition Tool),优化工具箱提供了应用广泛的算法集合,用于求解常规和大型的优化问题,这些算法可以求解带约束、无约束的以及离散的优化问题。

    以三种模型为目标函数分别对不同气膜间隙下的杯体内部和气膜间隙位置PIV数据的拟合结果如图6~图11所示。

    根据非线性回归理论[7],可以采用决定系数R2和剩余标准差S来比较和衡量衡量回归数学模型的适用性,相关指数R2是实验值和回归估计值^y之间相关系数的平方,它反应了回归平方和占总平方和的比重,其值在0~1之间,R2越接近1说明拟合效果越好,剩余标准差S即残差的标准差,用于放映回归方程的估计精度,其值越小表明模型拟合精度越高。R2和定义为

    其中,y为实验数据为实验数据平均值为回归数学模型的值。表3和表4列出了不同气膜间隙下气膜位置和杯体内部不同位置处三种旋涡模型的回归指标。

    图6 气膜位置的模型拟合结果比较

    表3 三种涡模型对气膜位置流场的拟合效果比较

    h=0.5 mm h=0.8 mm h=1.5 mm h=2 mm h =2.5 mm R2 S R2 S R2 S R2 S R2S兰金涡模型0.855 708 0.972 338 0.98 292 0.98 261 0.99 158奥森涡模型0.934 480 0.965 375 0.981 284 0.98 271 0.99 181泰勒涡模型0.978 278 0.986 237 0.987 236 0.98 267 0.99 178

    表4 三种涡模型对杯体内部流场的拟合效果比较

    =2.5 mm R2 S R2 S R2 S R2 S R2 h=0.5 mm h=0.8 mm h=1.5 mm h=2 mm h S兰金涡模型 0.888 1309 0.856 1259 0.854 1022 0.945 1188 0.9 Z1 21 1902奥森涡模型 0.884 1331 0.862 1235 0.845 1054 0.933 1315 0.92 1919泰勒涡模型 0.967 710 0.952 727 0.962 522 0.978 748 0.967 1230兰金涡模型 0.914 1538 0.874 1386 0.832 1178 0.946 1140 0.9 Z2 19 1579奥森涡模型 0.907 1595 0.878 1366 0.820 1221 0.939 1221 0.914 1626泰勒涡模型0.966 961 0.958 802 0.946 672 0.980 693 0.98 789兰金涡模型 0.895 1177 0.946 710 0.884 1054 0.939 1211 0.93 Z3 3 1410奥森涡模型 0.889 1215 0.944 719 0.885 1050 0.941 1190 0.919 1555泰勒涡模型 0.965 675 0.975 481 0.972 520 0.983 649 0.972 918兰金涡模型 0.913 933 0.857 1361 0.873 1027 0.946 982 0.954 Z4 849奥森涡模型 0.905 975 0.842 1427 0.863 1065 0.946 979 0.949 894泰勒涡模型0.977 485 0.942 863 0.958 589 0.98 602 0.981 539

    从表3和表4可以看出,除了在气膜间隙在2 mm和2.5 mm下的气膜位置两个特例外,基于Taylor涡模型的吸盘流场模型明显较基于Rankine涡和Oseen涡的模型有更接近于1的决定系数R2和更小的剩余标准差S,而且在上文中的两个特例中三种涡模型回归指标的差异并不大,应此可以肯定推断出吸盘内部流场和气膜位置的流场都可以用基于Taylor涡旋模型的吸盘模型进行准确描述。

    5 结论

    通过对文献[4]中的吸盘结构和三种典型旋涡模型进行分析,建立了三种描述吸盘一维流场的数学模型。基于PIV技术搭建了吸盘流场分析实验台,获得吸盘内部流场的速度分布,并且通过比较三种数学模型的模拟结果和PIV实验结果验证了基于三种漩涡模型的非接触吸盘的一维模型的准确性,接着以三种模型为目标函数应用最小二乘拟合对实验数据进行拟合。通过对三种旋涡模型的拟合效果比较明显得出,基于Taylor涡模型建立的吸盘流场一维模型是最能够准确描述吸盘内部流场的数学模型。

     
    (文/小编)
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