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| 【关 键 词】 | 键合强度 键合 表面能 |
| 【摘 要】 | 键合强度是关系到键合好坏的一个重要参数。本文介绍了键合强度测试方法的理论基础 ;随后列举了几种常见的测量方法 ,包括裂纹传播扩散法、静态流体油压法、四点弯曲分层法、MC测试方法、直拉法及非破坏性测试方法 (超声波测试法和颗粒法 )。分析了各种方法的优缺点 :裂纹传播扩散法操作简单 ,但它受测量环境、如何插入刀片等因素的影响 ,而且只适合于较弱的键合强度测试 ;对于较强的键合强度还是采用直拉法来测量 ,但它受到拉力手柄粘合剂的限制 ;对于器件中的键合强度测量采用MC测试方法更为适宜 ;超声波测试法现在只适用于弱键合强度。本文能对键合强度测量方法的开发、改进工作有所帮助。 |
