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| 【关 键 词】 | 光伏电池片 清洁生产 生产工艺 试验 节能减排 |
| 【摘 要】 | 常压化学气相淀积表面成膜（APCVD）工艺流程长,能耗、物耗高,污染物产生量大。采用等离子化学气相淀积（PECVD）工艺按水平组合正交表的设计方法,选择SiH 4 流量、NH 3 流量、温度、时间、射频功率、腔内压、淀积速率与淀积厚度8项因素,分别进行了L9（3 4 ）三水平四因素试验。以PECVD工艺替代APCVD,实现了年节电326.4万k W·h,减排污水2.63万t、COD Cr 5.71 t、氟化物1.17 t、氨气0.15 t和氮氧化物0.11 t。 |
