重点分析研究晶体硅太阳能电池片EL云雾状缺陷的原因，电池片EL云雾片缺陷主要由扩散工序及烧结工序产生。本文重点通过对烧结炉的硬件改善及工艺参数调整改善电池片EL云雾状缺陷，提升产品整体合格率，降低生产成本。
引言：随着太阳能电池EL质量要求越来越高，提升晶体硅电池片EL整体质量尤为重要。伴随电池效率提升的要求，对扩散方阻及印刷浆料都有了进行一步的挑战，因此势必也产生了部分负面效果。EL云雾状污染是目前比较普遍，且占据比例较高的不合格项。本文通过对云雾片的分析，结合产线实际情况重点从烧结炉方面对EL云雾状进行改善，从而达到提升合格率，降低成本的目的。
1.晶体硅太阳能电池片EL测试机理
EL测试即为电致发光测试，利用光生福特效应的逆向过程，给太阳能电池通电，电子在太阳能电池内部与空穴复合，复合过程发射光子，即电致发光。太阳能电池电致发光的波长范围在800nm-1300nm。
2.晶体硅电池片云雾状EL缺陷的基本现象及特点
2.1 EL云雾片的电性能特点
（1）Rs较正常电池片偏大，FF较低从而导致效率偏低。
（2）EL图像显示局部或整面存在云雾状发黑现象。
（3）异常电池片用酸溶液除去电极后测试部分电池片存在异常区域方阻偏大的现象。
2.2 EL云雾片的图像特征
云雾状EL缺陷从图像分析主要有以下几种重要类型，具体图示如图1所示。
3.晶体硅电池片云雾状EL缺陷的原因分析
3.1 扩散后局部方阻过大或者均匀性较差导致
如图1(a)所示，此类型电池片用酸溶液去除电极后，重新测试方阻，异常区域方阻较其他区域过大。
表1
3.2 电池片烧结过程中烧结不良导致
如图1(b)、图1(c)所示，此类型电池片用酸溶液去除电极后测试方阻无异常。另外烧结不良的电池片部分会存在位置比较规律的情况，如图1(b)所示。
图1 云雾状EL缺陷从图像分析的几种重要类型
图2 对同一条烧结炉进行不同时段的三次拉温结果
4.烧结炉的排查分析
4.1 温度稳定性的影响
图2所示为对同一条烧结炉进行不同时段的三次拉温结果，从图像分析，三次拉温曲线相对稳定，即烧结炉温度稳定性较好，云雾状EL污染的情况与温度稳定性无较大影响。
4.2 热排风量调整（辅助热排）
热排风量大小直接影响着烧结过程中产生的有机物能否直接、快速的排出，从而避免烧结炉内部由于有机气氛过多导致的烧结不充分及污染。
从表1调整数据分析，辅助热排大小对EL云雾状污染数量无明显影响。
4.3 工艺温度改善
根据产线多次调整效果显示，烧结炉峰值区温度对EL云雾片影响较大，因此在保障不影响效率及背场不出现铝包降级的情况下，最大限度提升峰值区温度对云雾片改善较为明显。
图3
表2 具体维护项目表
图4 拆除耐高温玻璃前后EL云雾片异常比例对比
图5
4.4 预烧结区耐高温玻璃影响
热传递，热从温度高的物体传递到温度低的物体，或者从物体的高温部分传到低温部分，这种现象叫做热传递。热传递的三种方式分别为：传导、对流和辐射。一般情况下三种热传递是同时发生。烧结炉的热传递主要通过对流及热辐射进行。
由于烧结炉预烧结区耐高温玻璃长时间使用，已出现发黑（如图3左图所示）及破损等现象，严重影响灯管对电池片的热辐射效果。
实验过程中对烧结炉预烧结区耐高温玻璃进行拆除或者更换新的耐高温玻璃，由于避免了发黑异常玻璃对热传递的影响，使得热辐射效果充分发挥，跟踪实验前后天5天的EL云雾片异常比例如图4所示，从数据分析，拆除预烧结区异常的耐高温玻璃对EL云雾片有良好的改善效果。
4.5 烧结炉硬件维护
针对部分位置比较固定且出现频次较高的EL云雾状工艺污染，通过调整烧结温度后，仍然不能完全解决，因此选取2条线利用烧结炉降温后对设备内部硬件设施进行维护，具体维护项目如表2所示。
维护效果分析，通过对以上烧结炉硬件设施进行维护，对比维护前EL云雾片比例，改善较为明显，如图5所示。
5.结论与讨论
本文介绍了目前常见的EL云雾状缺陷的产生原因，具体从烧结炉方面进行了实验排查及改善。烧结炉峰值区温度的提升对云雾状污染有明显改善，但考虑到背场的烧结质量，故温度调整是有限的。由于烧结区灯管上侧的耐高温玻璃经过长期使用出现严重污染变质的情况，阻挡了热辐射效果，拆除此部分耐高温玻璃能有效改善因烧结不充分导致的EL云雾状缺陷。烧结炉内部环境清洁程度也是影响EL云雾状污染的主要因素，因此加大清洁力度对改善EL云雾状污染也有很大帮助。
