| 【摘 要】 | 以激光干涉测量、高速直线驱动、高速检测等技术为基础,研制了长光栅动静态测量装置.介绍了装置的总体结构,叙述了动静态测量的具体过程,详细阐述了直线驱动、光栅的装夹及调整机构等关键组成部分.该装置可在2 m测量范围内实现长光栅的动态和静态测量,实验结果表明,静态测量的示值误差优于0.3μm/m,动态速度评价达到180 m/min,可较好满足目前的高精度测量需求. |
| 【关 键 词】 | 计量学 长光栅 位移测量 动态测量 |
【摘要】以激光干涉测量、高速直线驱动、高速检测等技术为基础,研制了长光栅动静态测量装置.介绍了装置的总体结构,叙述了动静态测量的具体过程,详细阐述了直线驱动、光栅的装夹及调整机构等关键组成部分.该装置可在2 m测量范围内实现长光栅的动态和静态测量,实验结果表明,静态测量的示值误差优于0.3μm/m,动态速度评价达到1
