| 【分类导航】 | 工业技术->无线电电子学、电信技术->半导体技术->一般性问题 |
| 【关 键 词】 | 高速粘片机 电机选型计算 运动控制技术 双反馈 |
| 【摘 要】 | 论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制。 |
【分类导航】工业技术-无线电电子学、电信技术-半导体技术-一般性问题【关键词】高速粘片机电机选型计算运动控制技术双反馈【摘要】论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制。
