| 【分类导航】 | 工业技术->无线电电子学、电信技术->半导体技术->一般性问题 |
| 【关 键 词】 | 透光镜 抛光晶片 缺陷 光学无损检测技术 表面质量分析系统 |
| 【摘 要】 | 抛光晶片缺陷检测是半导体材料生产和器件生产中的一个重要环节,晶片质量及器件成品率与缺陷检测的成功与否有着相当重要的关系.本文重点介绍了利用我国古代劳动人民发明的透光镜原理建立的抛光晶片激光无损缺陷检测技术和相应的仪器系统,并对一系列缺陷的测试和实验分析结果进行了相应的讨论. |
【分类导航】工业技术-无线电电子学、电信技术-半导体技术-一般性问题【关键词】透光镜抛光晶片缺陷光学无损检测技术表面质量分析系统【摘要】抛光晶片缺陷检测是半导体材料生产和器件生产中的一个重要环节,晶片质量及器件成品率与缺陷检测的成功与否有着相当重要的关系.本文重点介绍了利用我国古代劳动人民发明的透光镜原
