电真空器件的气密性检测

0 前言

近年来，工业化进程不断深化背景下，电真空器件作为一种重要设备成为工业发展不可缺少的一部分，然而，电真空器件长期使用中漏气现象是难以避免的，为了确保设备在生产过程中发挥最大成效，需要对设备进行气密性检测，了解和掌握设备气密程度。因此，加强电真空器件气密性检测的研究具有重要意义。

1 电真空器件气密性检验注意事项

1.1 温度方面

环境温度作为影响电真空器件气密性检测的重要因素，温度变化对漏孔漏率具有直接影响，温度发生变化，势必会影响漏孔几何尺寸及气体特性，进而影响漏率，通常情况下，在检验过程中，要确保工件温度与室温相一致，保证检验工作准确性。

1.2 清洁度方面

在检验过程中，由于被检验器件与辅助模具、检漏仪等相连接，且一般采用酒精、真空封泥、橡胶圈等进行密封处理，如果不进行清洁处理，极有可能成为放气源，进而影响器件性能，至此，在检漏完毕后，需要进行彻底清洁，才能够将其应用到生产过程中。

1.3 材料吸附方面

不同于一般器件，电真空器件真空管道、阀门等器件自身据哟吸气性特点，使用时间越长，那么相应的吸附的杂质也越多，检漏时被吸入质谱时会产生表面沉积物等污染，使得氨本底过高，设备难以在使用中发挥积极作用，至此，在检验结束后，要进行除氨处理。在气密性检验中，只有坚持相应原则，才能够器件发挥积极作用。

2 电真空器件气密度检验具体流程

2.1 环境方面

(4)喷氨法最小可检漏率分析

2.2 仪器校准和灵敏度方面

电真空器件气密度检验的开展离不开仪器的支持，因此，要对检验仪器进行校准和灵敏度测试，如果在校准过程中，出现校准失败现象，要及时进行调整和优化，另外，针对灵敏度测试，一旦发现使用过程中出现反应慢情况，需要进行改进。

2.3 被检件与检漏模具方面

由于电真空器件在长期使用中，表面势必会受到污染，基于此，在检验之前，要对被检验器件进行相应处理，将避免油污等清理干净，通过上述处理，不仅能够避免漏孔被污物堵住，还能够更为准确的找到漏气孔，此外，还需要保证检漏模具干净、干燥，且没有变形。

2.4 检漏方法分析

针对电真空器件自身特殊性，针对其进行气密性检验主要采取两种方法：一种是氨罩法，另一种是喷吹法，在具体检验过程中，首先对氨罩法进行总漏率测试，如果超出标准范围后，再使用后者。

(1)氨罩法

氨罩法主要是指将被检验器件与检验仪器连接到一起，并用一个充满氨气检验罩，将器件包围起来，并进行二次处理，确保罩内氨气量达到标准值，一旦发现被检验器件某个位置出现漏气现象，就会出现漏率值，虽然，该方法能够检验漏气情况，但是，难以确定漏气位置，如图1。

图1 氨罩法

(3)喷吹时间及速度

喷吹时间作为影响检验效果，至此，要结合被检验器件结构特征、容积大小等因素合理确定喷吹时间，通常情况下，针对漏电的喷吹时间要比检漏仪反应时间高3至5倍，确保氨浓度达到标准值；而对于简单漏孔来说，一般控制在3倍即可。另外，喷吹移动速度也不宜过快，针对口径为0.5mm的喷枪，移动速度要控制在2至3mm/s。

一般情况下，普通喷枪喷嘴敞开式居多，漏孔形状、喷嘴形状及尺寸等因素对检验方法灵敏度影响较大，如果当检验仪器本底值偏高时，可以利用仪器将本底值置零后继续进行检验，并加强对检漏值的关注力度，进而快速找到漏气位置，另外，在具体操作过程中，由于受到流导及抽速的影响，使得工作灵敏度要比仪器灵敏度要低。

虽然，喷吹法作为一种方便、简单的检验方法，但是，在具体检验中仍然存在很多限制因素，为了确保检验发挥积极作用，对喷氨法要进行最小可检漏分析。通过采取相关公式进行计算发现，喷氨法检漏最小可检漏率的影响因素主要包括氨气浓度、时间，由此，要想提高可检漏率，可以通过两种方式和方法入手，一方面，提高漏孔处氨浓度；另一方面，适当增加喷氨时间，但是，要明确意识到增加时间直接影响检漏效率，在具体检验过程中，要充分结合实际情况，进行相应调整和优化。

为了确保气密性检验准确性，要加强对环境各方面因素进行调整和优化，一般涉及温度、湿度、通风等方面，温度与室温一致，湿度小于70RH，且要保持通风良好，气流平稳，并消除强电磁干扰和振动。不仅如此，要结合被检器件结构特点及承载要求，科学、合理设计检漏台，为检验工作顺利开展奠定坚实的基础。

(5)复杂结构检验

由于电真空器件种类较多，其中不乏一些结构比较复杂的器件，多回路交叉相连，在很大程度上增加了检验难度。针对这类器件气密度检验，可以通过实施分层次检验，首先对回路1抽真空，对回路2喷氨气，以此来找到两路相同区域；而后，进行交替操作，并对回路1开口端注入酒精，避免气流将酒精扩散到其他位

(2)喷吹法

喷吹法主要是将被检验器件与仪器的真空系统有机结合，针对可疑漏孔位置进行吹喷，当发现漏孔时，便通过质谱仪检测出漏气情况。该方法在很大程度上弥补了氨罩法的缺陷，二者有机结合，不仅能够提高检验准确性，还能够提高检验效率，如图2。污水当中的氧气含量较大时，将厌氧细菌消灭之后，污水当中会有部分的氧剩余，以此种污水所配制成的聚合物溶液，聚合物的分子量会由于氧的作用从而导致出现断裂，从而影响聚合物溶液的黏度。经过优选实验之后认为，合理的曝氧量约为5mg/L。

图2

3 结论

（1）曝氧环境下聚合物溶液的黏度要略高于厌氧环境下聚合物溶液的黏度；

（2）聚合物溶液的黏度随着时间的延长，先是快速下降，之后黏度的下降逐渐趋于稳定；

（3）污水的合理曝氧量约为5mg/L，此时污水配制的聚合物溶液黏度最大。